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TUhjnbcbe - 2023/8/10 22:49:00

PVD是物理气相沉积的简称。PVD涂层是指一种薄膜沉积技术,使固体材料在真空环境中溅射或者蒸发,作为纯材料或合金成分沉积在基底上形成涂层。

由于该方法将涂层材料作为单个原子或分子水平转移,因此它可以提供非常纯净和高性能的涂层,对于许多应用而言,这比所使用的其他方法更好。在每一个微芯片、半导体器件、耐用保护膜、光学透镜、太阳能电池板和许多医疗设备的核心,PVD涂层为终产品提供了关键的性能属性。无论涂层需要非常薄、纯净、耐用还是干净,PVD都能提供解决方案。它被广泛应用于各种行业,如光学应用,从眼镜到自清洁有色玻璃窗,太阳能光伏应用,计算机芯片、显示器和通信等设备应用,以及功能性或装饰性饰面,从耐用的硬保护膜到亮金、镀铂或者镀铬。两种常见的物理气相沉积涂层工艺是磁控溅射和热蒸发。磁控溅射是用高能电荷轰击被称为靶的涂层材料,使其“溅射”掉沉积在硅片或太阳能电池板等衬底上的原子或分子。热蒸发是指在高真空环境中将涂层材料提升至沸点,使蒸汽流在真空室中上升,然后在基底上冷凝。

是什么使PVD涂层具有很高的耐久性、耐腐蚀性和耐刮擦性?能够使用PVD在原子水平上应用涂层可以控制薄膜的结构、密度和化学计量。使用某些材料和工艺,我们可以开发出物理气相沉积薄膜的特定特性,如硬度、润滑性、附着力等。这些涂层可以减少摩擦并提供防止损坏的屏障。这些涂料的应用范围不断扩大。航空航天、汽车、国防、制造等领域,持久耐用至关重要。

这种物理气相沉积涂层还具有很高的耐变色性和耐腐蚀性,可用于各种颜色不褪色的装饰饰面。PVD镀金或镀铂能产生亮丽的表面,使手表具有很高的抗划伤性和抗刮擦性,而刮擦会导致弹性较差的过程磨损。氮化钛和类似的涂层提供了美丽的饰面,也非常耐腐蚀和磨损。这使其广泛应用于家庭用品,如门把手、管道固定装置和船用固定装置以及机械加工工具、刀具、钻头等。它生产的涂层具有优异的硬度、耐久性和耐磨性。PVD涂层安全吗?

物理气相沉积工艺是一种环境友好的“电镀”技术,与其他涉及流体和化学反应的“湿”工艺相比,必须使用、管理和处置的有*物质数量大大减少。由于物理气相沉积技术能够产生非常纯净、清洁和耐用的涂层,因此它是外科和医疗植入行业的首选技术。

如何使用PVD涂层?无论具体的应用过程是溅射还是热蒸发,这两种物理气相沉积过程基本上都是高真空技术,将源材料蒸发成原子或分子的等离子体,并将其沉积在广泛的衬底上。在一个压力接近10-2到10-6托(到毫巴)的高真空室中进行,这个过程通常发生在50到摄氏度之间。将要涂覆的物体固定在夹具中并放置在真空沉积室中。根据所用的涂层材料、基底和工艺要求,将腔室泵调至佳压力,待涂覆的物体通常预热并先进行等离子清洗。

常见的PVD涂层靶材是什么?将要溅射或蒸发的涂层材料被称为“目标”或“源材料”。PVD常用的材料有数百种。取决于终产品是什么,材料的范围从金属,合金,陶瓷,各种化合物和元素周期表中的任何东西。某些工艺需要独特的涂层,如碳化物、氮化物、硅化物和硼化物,以用于特殊应用。每一种都有针对特定性能要求而定制的特殊品质。例如,石墨和钛通常用于高性能航空航天和汽车部件,在这些部件中,摩擦和温度是关键的成功因素。为了获得厚度通常为几个原子或分子的均匀薄膜涂层厚度,要涂层的零件通常以均匀的速度旋转,或者放置在传送带上,传送带经过沉积材料的腔体内,可在同一沉积周期内涂覆单层或多层涂层。为什么PVD要用氩气?氩是一种惰性气体,这意味着它不能与其他原子或化合物发生化学结合。这保证了涂层材料在沉积到基底之前进入真空室的气相保持纯净。

此外,活性气体如氮气、氧气或乙炔可被引入真空沉积室,以产生化合物,从而在沉积时在涂层和基体之间形成非常牢固的结合。尽管薄膜沉积层的厚度可以是几埃到许多微米,但它们形成了一种极为粘附的涂层,在许多应用中表现良好,如装饰性涂层、电气和其他功能性涂层。应用是无限的!PVD涂层工艺应用非常广泛,从当今先进和前沿的半导体行业,再到集成电路、到太阳能电池板等等,在所有这些行业中,重要的是PVD涂层可以在没有有*残留物或副作用的情况下得以应用。

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